据日经新闻11月6日报道,荷兰半导体设备供应商阿斯麦尔(ASML)供应极紫外光(EUV)光刻机给中芯国际的计划已经中止,多位ASML供应商关系人士指出,ASML是为了避免因供应最先进的设备给中国,担心刺激到美国,因此决定暂时中止交货。
据了解,中芯国际是在去年4月份向ASML订购了EUV光刻机,原定于2019年底交付,到2020年中期完成安装。
11月7日,针对以上报道,ASML公司官方做出了回应,内容如下:
关于日经新闻(NIKKEI)昨日报导,其标题和内容呈现造成误导,本公司在此提出澄清。
我司不对任何客户做comment。对于日经新闻报道的关于交货时程仅为其媒体推测,ASML从未评论或确认,因此,“延迟出货”仅为媒体推测。对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述,表示抗议。
ASML一向在遵守相关国际法规的前提下一视同仁地服务全球客户。根据瓦圣纳协议,ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可(export license)。该出口许可于今年到期,ASML已经于到期前重新进行申请,目前正在等待荷兰政府核准。因此,关于“ASML决定延迟/终止出货”的说法是错误的,ASML系遵循法规行事。
对于此次传闻,中芯国际也做出了回应,该公司表示:
EUV还在纸面工作阶段,未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前,研发与生产的连结一切正常。客户与设备导入正常运作。
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