近日，清华大学微纳电子系任天令教授团队在纳米领域著名期刊《美国化学学会纳米》（ACS Nano）上发表了题为《多层石墨烯表皮电子皮肤》(“Multilayer Graphene Epidermal Electronic Skin”)的研究论文。该器件全球首次实现了可定制的石墨烯电子纹身，这种电子皮肤具有极高的灵敏度，可直接贴附于皮肤或其他衬底上，用于探测人的呼吸、心率、发声等，未来有望在运动、生物医疗等领域“大展拳脚”。nNoednc

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图1 贴覆于人体与物体表面的定制化石墨烯纹身nNoednc

制作电子皮肤要求器件拥有良好的柔韧性、高灵敏度、贴合度和舒适度。石墨烯天生拥有出色的导电性和柔韧性，是制造电子皮肤的理想材料。任天令表示：“但将石墨烯更美观、稳定、可靠地贴合在皮肤表面，从而采集各种生理信号仍然是一个需要解决的关键问题。”为此，他们基于激光还原石墨烯，将石墨烯与纹身结合，让其模仿电子皮肤的功能，通过电阻变化对皮肤表面的微小形变等进行监测。nNoednc

任天令教授团队基于激光还原石墨烯，将石墨烯与纹身相结合，模仿了电子皮肤的功能。可以通过电阻变化对皮肤表面的微小形变进行监测。在图形化的过程中，团队在国际上首创了湿法剥离氧化石墨烯的新工艺，去除石墨烯氧化物，只留存石墨烯，使得器件更加美观，灵敏度更高，耐受更高的温度。该项技术采用水转工艺，衬底超薄，没有穿戴不适感。此外，由于激光直写可编程的优势，石墨烯的图案可以进行个性化设计。除了测量皮肤表面的拉伸与压缩，这种石墨烯的纹身还可以利用牺牲层工艺转移到多种衬底上，例如树叶，丝绸等等。通过贴附在口罩、手腕、喉咙、人中等多个位置分别实现对呼吸，心跳，语音等人体信号的测量。测试者佩戴时并不会影响正常活动。器件在睡眠呼吸、语音等多方面的应用潜力，未来如果普及可以让人们随时随地了解自己身体状况。nNoednc

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图2 剥离工艺可以大幅度提高传感器灵敏度以便于测量各种生理学信号nNoednc

通过对于激光直写石墨烯围观纹路的观察与分析，任天令教授团队建立了以石墨烯条带为基元的裂痕理论模型，较好地模拟了应力引起的阻值变化过程。近年来，任天令教授致力于石墨烯器件的基础研究和实用化应用的探索，尤其关注研究突破传统器件限制的新型微纳电子器件，在新型石墨烯声学器件和各类传感器件方面已获得了多项创新成果，如柔性石墨烯发声器件、新型石墨烯阻变存储器、光谱可调的石墨烯发光器件、石墨烯仿生突触器件、可调石墨烯应力传感器、仿生石墨烯压力传感器、极低功耗石墨烯钙钛矿阻变存储器等相关成果，有多篇论文发表于《自然通讯》（Nature Communications)《先进材料》(Advanced Materials)《纳米快报》(Nano Letters)《美国化学学会纳米》(ACS Nano)等国际著名期刊。nNoednc

清华大学微纳电子系博士生乔彦聪等为文章的共同第一作者，微纳电子系任天令教授及其团队教师是论文的通讯作者，该研究成果得到了国家自然基金重点项目和科技部项目的支持。