美国最大的开放式MEMS 技术和制造服务提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司与北京大学微纳电子学研究院继续开展战略合作，并已将第三届（2017年度）MEMS专项奖学金颁发给该院的三位优秀学生，以鼓励他们在MEMS工艺技术研究与开发领域所做的贡献，并激励更多青年学人关注和投身MEMS制造工艺技术创新。官勇、贾德林和宋宇三位同学获得了该年度的专项奖学金。

作为全球领先的MEMS技术领域纯晶圆代工企业，近年来IMT已与中国半导体生态中各类伙伴开展了广泛而深入的合作。不仅为中国领先的器件设计公司代工生产了先进的MEMS产品，还与诸多研究机构开展了多项MEMS工艺研发合作，而已经连续三年为北京大学微纳电子学研究院的学生颁发的MEMS专项奖学金，目的在于支持MEMS及相关领域内的未来之才开展创新，并在更广泛的范围内进一步推动MEMS制造工艺技术顶尖人才的培养。

经过三年的运行和积累，IMT-北京大学微纳电子学研究院MEMS专项奖学金吸引了越来越多的学生参与。在对所有申请奖学金的候选人进行大量评估和答辩后，北京大学微纳电子学研究院将2017年度奖学金授予了官勇、贾德林和宋宇这三位展现出优秀研究成果的学生。这三位IMT奖学金获得者的研究方向分别为硅通孔转接板制作工艺基础研究，聚酰亚胺牺牲层工艺及其在光学读出红外/太赫兹焦平面阵列探测器中的应用，以及碳纳米管导电网络的制备工艺及其在智能能量系统中的应用。他们的研究成果在MEMS工艺技术方面取得了突破，并且在MEMS器件制造及应用中具有发展潜力和前景。

MEMS技术在我们的工作和生活中早已无处不在，包括消费电子、汽车、航空航天、机械、化工、医药等在内的众多领域都已存在MEMS产品的身影。MEMS产品具备体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等诸多优点。MEMS技术的持续演进，推动了器件制造工艺、新材料及封装等方面的创新，同时激励着IMT 和北京大学微纳电子学研究院等领先的研究机构积极开展合作，共同推进相关制造技术的研究和开发，以应对物联网、智能化和生物科技等等领域内快速发展的需求。

“IMT与北京大学微纳电子学研究院的合作已有三年，很高兴看到三年来同学们在MEMS技术研究方面所取得的进步和突破，他们高质量的论文和对创新的追求令我们印象深刻，”IMT 首席执行官Craig Ensley先生表示。“双方合作的这三年，MEMS技术在不断向前发展，无论基础性技术的演进还是应用领域的拓展，都让我们对MEMS产业的前景抱有极大的信心。在中国，集成电路产业也已发展到一个新的时代，技术创新、产品开发、资本参与和国际合作等方面都已迈上一个新的台阶，IMT期待利用自己全球领先的 MEMS 器件加工技术服务为中国MEMS产业带来新的、更大的发展机会。”

“自2015年与IMT形成战略关系以来，双方在开发新的MEMS制造工艺及技术方面展开了卓有成效的合作并已经从中获益。过去的三年，MEMS专项奖学金已经授予了8位学生和1个学生团队，激励了同学们去深入探索MEMS制造工艺技术创新，并通过所开展的研究在相关领域内做出了实际贡献。”北京大学微纳电子学研究院王玮教授表示，“通过与IMT这样全球领先的MEMS制造服务公司合作，北京大学微纳电子学研究院进一步加快了对MEMS技术的研究进程，双方将共同推动MEMS新技术、新工艺的诞生，并为行业培养更多的优秀工艺研发人才。”