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集成电路自动测试设备

发布时间:2024-05-20 发布时间:
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ATE以它的通用性、标准性、便捷性以及开放性迅速成为集成电路测试行业的主流。

传统的lCATE按测试门类分为以下几种功能类型。

数字测试系统——共享资源测试系统,每个管脚具有独立测试资源。用于特性化测试SN74LS247集成电路的逻辑功能。

线性器件测试系统——用于测试线性集成电路的测试系统。

模拟测试系统——用于特性化测试集成电路的模拟功能。

存储器测试系统-DRAM测试泵统,闪存测试系统。用于验证内存芯片。

混合信号测试系统——测试集成电路的模拟及数字功能。

RF测试系统——用于射频集成电路芯片测试。

40多年来,集成电路测试技术与集成电路技术本身同步发展,集成电路ATE经历了从最初测试小规模集成电路发展到测试中规模、大规模集成电路以及测试超大规模集成电路的历程。通常把整个发展历程分为四个时代。始于1965年的第一代ATE采用24位、10MHz计算机控制,能对小规模集成模拟器件和门电路器件进行简单测试。第二代始于1969年的计算机控制的测试仪,用于中规模集成电路,可测管脚数24个,不但能测试IC的直流参数,还可用低速图形测试lC的逻辑功能。第三代始于1972年,测量对象扩展到大规模集成电路,可测管脚数达60个,功能测试图形速率提高到10MHz、20MHz。1980年进入第四代,以计算机控制为主导的测试系统,测量对象为超大规模集成电路,可测管脚数高达256个,功能测试图形速率高达100MHz,测试图形深度可达256K以上。此后,测试设备的智能化水平进一步提高,以SoC为主要被测对象的新型ATE相继诞生。现在测试仪的功能测试速率已达500MHz以上,可测管脚数乡达1024个,定时精度±55ps。

新型测试系统达到了高指标、高性能,同时又能满足用户对不同指标的需求。在硬件上是模块化结构的多功能集成平台,冲破了传统的ATE产品各自独立的单机模式,可以在一个平台上,同时测试数字、模拟、数/模混合、高速总线、射频和存储器等各类器件,还可以满足IC的设计验证、特性分析和量产测试,实现了器件的设计——验证——测试一体化。

模块化结构还便于用户灵活选择、任意搭配所需的配置。这类系统普遍具有通道混合功能,可以将低速(如250MHz)与高速(如4GHz)测试需求在一个测试平台上完成。系统升级方便,软件的更新换代,更能适应SoC和ASIC器件的开发与测试。


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