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用百分表(精度为0.01 mm)对工作台两个方向的重复定位精度进行了测试。首先将工作台某一位置进行零点标定，并向一个方向给出一定步数的脉冲，然后再返回相同的步数，记录与零点的偏差，重复进行10次，计算这一步数的重复定位误差。在X轴方向取1.4 mm(35步)，2.8 mm(70步)和4.8 mm(120步)，在y轴方向取1.2 mm(30步)，2.4 mm(60步)和4.0 mm(100步)。计算结果是：在x方向上的标准偏差分别为σ1=0.018 mm，σ2=0.025 mm和σ3=0.032 mm，平均标准偏差σX=0.025 mm;在y方向上的标准偏差分别为σ1=0.009 mm，σ2=0.014 mm和σ3=0.023mm，平均标准偏差σy=0.015 mm。在X轴方向上的重复误差分别为△x1=0.016 mm，△x2=0.019 mm，△x3=0.026mm;在y轴方向上的重复误差分别为△y1=0.006 mm，△y2=0.010 mm，△y3=0.017 mm。测试结果表明，显微工作台在X和y方向上的重复定位误差分别为△y1=0.02 mm，△y=0.011 mm，满足了精度要求。
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