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计量光栅读数头多相信号的获得方法

发布时间:2022-08-22 发布时间:
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用光电器件探测莫尔条纹的移动,便可测出指示光的移动量。这里有两个问题必须解决:一是如何辨别指示光栅的移动方向,二是如何对莫尔条纹进行细分。通常的办法是采用在一个莫尔条纹宽度内均布4个光电探头,从而取出四相信号,然后再用电子信号处理的方法实现辨向和细分。因为取得多相信号的方法涉及光栅读数头的结构布局,这里综合地简述一下获得多相信号的两种方法。

①四分透镜法:从原理上说,只要能使莫尔条纹成多个像的方法都可以获得多相信号。用四分透镜(实质上就是4个不同轴的透镜)可以得到莫尔条纹的4个像,分别用4个光电组件去接收,就输出4个信号。图1就是采用四分透镜获得四个光栅信号的方案。四分透镜就是将1块透镜分隔为4份,如图1(b)所示,然后重新排列而成。当然也可以利用棱镜和反光镜获得分像效果。


1一聚光镜 2一指示光栅 3一四分透镜 4一狭缝 5一光电二极管

图1 四分透镜读数头

②列阵光电组件法:用多个光电组件排列在一起,去接收同一个莫尔条纹信号,就可以得到多个不同相位的信号。图2是采用四极硅光电池的情况。若要取得沟个信号,莫尔条纹宽度为B,则单个光电组件在条纹宽度方向上的尺寸为b=B/n。



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