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光电显微镜
利用光电原理对线纹尺的线纹进行瞄准的长度测量工具。光电显微镜主要用于检定和刻制高精度线纹尺，也用于精密机床的坐标定位。它是为了解决读数显微镜瞄准精度不高和不能自动瞄准而发展起来的。至20世纪40年代后期，瞄准精度已达±0.05微米以上。光电显微镜有振子式和差动光度式之分。
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