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风力发电机组是将风能转换成电能的发电设备，风能先后通过叶轮、主轴、齿轮箱、发电机后转换成电能。在风力发电机组各个部件中，风力机叶片是弹性体，在风载荷的作用下，作用在风力机叶片结构上的空气动力、弹性力、惯性力等具有交变性和随机性力的耦合将会引起与某些振型共振的自激共振，即颤振。该振动是发散的，严重时会导致风力机结构破坏。另外，风力发电机组在运行时会由于多种原因，使机舱在各个方向有较大的振动，振动的频率、幅度超过风机设计要求时会对风机的正常运行产生危害。加速度传感器主要用于监测风力发电机齿轮箱、主轴及电机定子等部件的振动情况。
倾角传感器用于监测风力发电机水平角度测量。
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MEMS技术的加速度传感器分析与应用
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