横河计测株式会社宣布已开发出 AQ6377 光谱分析仪，于 1 月 16 日正式发布。 AQ6377 是一款采用色散分光技术* 1 来测量 1.9–5.5μm 波长范围内激光光谱的台式分析仪，具有精度高、动态范围广和高分辨率等特点。对于此类仪器，支持 5μm 波段的测量是业界首创* 2。

光谱分析仪是一种分析如半导体激光器和光纤激光器等光子器件的波长成分，以评价其波长特性的测量仪器。AQ6377 可用于增强光学器件在 5μm 波段的表现，并促进其在环境测量和其他领域的加速应用。

发展背景

近来，激光吸收光谱法* 3 已广泛应用于环境测量领域碳氧化物（COx）、氮氧化物（NOx）和碳氢化合物（CxHy）等气体的检测。尽管在此类应用中已将近红外半导体激光作为光源使用，但由于这些气体会吸收更多更长波长的光，对中红外激光器的需求不断增长。5μm 左右的波长范围是此类测量的理想选择，虽然干涉仪型测量仪器和带光谱分析功能的大型测量系统等设备都可以使用 5μm 半导体激光器来测量该范围内的光谱，然而，这些设备具有动态范围小和波长分辨率低等缺点，不利于测量的精准度。因此，市场上对紧凑型高性能光谱分析仪的需求很强烈。

横河自 1980 年进入光谱分析仪市场以来，不断发展和完善其技术，以精确测量可见光和近红外范围内的光谱。凭借其在色散光谱学方面的专业知识，横河已开发 AQ6377 用于中红外测量，支持 5μm 波段。

产品特色

1. 行业领先的测量范围

AQ6377 具有 73 dB 的功率动态范围和 50 dB 的近距离动态范围* 4，比在 5μm 波段工作的干涉仪型仪器的功率动态范围大 2000 倍，近距离动态范围大 10 倍。AQ6377 能够评估半导体激光器的边模抑制比特性，市场上尚无其它如此高性能的同类设备* 5。

2. 业内最高波长分辨率

AQ6377 的波长分辨率是业界领先的 200 pm* 6，是在 5μm 波段工作的干涉仪型仪器的三倍。

3. 准确测量光谱

AQ6377 具备两个附加功能，其一是消除光谱仪中的水汽，从而消除在特定波长产生的水汽吸收峰。其二是消除高阶衍射光的影响（高阶衍射光是所有光谱仪固有的现象，它产生一个波长比入射光的波长长两到三倍的光谱）。

主要目标用户

环境传感领域涉及到的有源和无源光学器件的大学、研究机构和制造商。

主要用途

- 半导体激光器、光纤激光器和宽带光源的发射光谱评估

- 测量光纤布拉格光栅（FBG）* 7 等光学滤波器的波长传输特性

• 1. 一种使光通过穿过衍射光栅来将其分散并随后穿过狭缝，从而提取特定波长范围光信号的技术
• 2. 基于 2019 年 12 月横河的调查
• 3. 用激光照射分子，根据分子的类型，分子会吸收特定波长的光。该原理用于分析气相的光谱并对气相中的分子进行定量评估。
• 4. 能够解析在较强信号（在波长上）附近较弱的光信号能力的指标。
• 5. 基于 2019 年 12 月横河的调查。动态范围是参考值（典型值），而不是保证值。
• 6. 基于 2019 年 12 月横河的调查。 200 pm 是可用于测量 5μm 光的最高波长分辨率。
• 7. 一种利用折射率周期性变化来反射光纤中特定波长光信号的器件