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主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成.
离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子.
分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；
在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙；打在收集器上.
收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器.通过测量离子流就可知漏率.
冷阴极电离真空计指示质谱室的压力保护装置.
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