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详解ASML的EUV光刻系统

发布时间:2024-02-06 发布时间:
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全球最大芯片光刻设备市场供货商阿斯麦(ASML)近日公布2017第二季财报。ASML第二季营收净额21亿欧元,毛利率为45%。在第二季新增8台EUV系统订单,让EUV光刻系统的未出货订单累积到27台,总值高达28亿欧元。

 

预估2017第三季营收净额约为22亿欧元,毛利率约为43%。因为市场需求和第二季的强劲财务表现,ASML预估2017全年营收成长可达25%。

 

ASML总裁暨执行长温彼得指出:“ASML今年的主要营收贡献来自内存芯片客户,尤其在DRAM市场需求的驱动下,这部分的营收预估将比去年成长50%,而来自逻辑芯片方面的营收也可望成长15%。除了DUV光刻系统的业务持续成长,在EUV光刻系统部分,未出货订单累积金额在第二季已经累积到28亿欧元,显示不论逻辑芯片和DRAM客户都积极准备将EUV导入芯片量产阶段。”

 

此外,ASML近年来积极推行系统升级业务,该部分的营收贡献可望在今年成长20%。“综合市场和各业务领域的捷报,我们认为成长动能将延续到2018年,”温彼得说。

 

 

二季度的营收主力,EUV表现亮眼

作为为数不多的芯片光刻设备供应商,唯一一家EUV设备提供商,ASML在刚过去的一个季度表现非常亮眼,主要体现在以下几个方面:

 

(1)深紫外光(DUV)光刻

ASML推出最新浸润式光刻系统TWINSCAN NXT:2000i,具备多项硬件技术创新,让客户得以在7奈米和5奈米制程节点上,同时用浸润式光刻和EUV系统进行量产,并达到2.5奈米的迭对精度。另一方面,3D NAND客户对于KrF干式光刻系统的需求持续升高,目前TWINSCA NXT:860的未出货订单已累积超过20台。TWINSCA NXT:860系统的生产力可达到每天曝光5,300片晶圆。

 

(2)全方位光刻优化方案

本季开始出货最新的Yield Star 375F量测系统,具备最新的光学技术,可更快、更精准的获取量测结果。

 

(3)极紫外光光刻

在荷兰总部已经成功将升级的EUV光源整合进NXE:3400B系统中,并达成每小时输出125片晶圆的生产力指标。至此,ASML的EUV系统已经成功达成所有计划中的关键效能指标,下一阶段,ASML将专注于达成满足客户在量产时所需的相关妥善率(availability)指标,并持续提升系统生产力。

 

在第二季当中,ASML也完成了对德国卡尔蔡司旗下蔡司半导体(Carl Zeiss SMT)24.9%的股权收购,以进一步深化双方的策略伙伴关系,共同发展下一代EUV光刻系统。

 

展望2017年第三季,ASML预估整体销售净额可达22亿欧元,毛利率约落在43%,其中包含约3亿欧元的EUV营收认列。研发投资金额提高到3.15亿欧元,其他收入部份(包括来自于客户共同投资计划的收入)约为2,400万欧元,而管销费用(SG&A)支出则约1.05亿欧元,年化税率约14%。ASML预计在第三季会有另外3台NXE:3400B EUV光刻系统完成出货。

 

 

ASML:现代芯片不可或缺的支持者

阿斯麦公司ASML Holding NV创立于1984年,是从飞利浦独立出来的一个半导体设备制造商。前称ASM Lithography Holding N.V.,于2001年改为现用名,总部位于荷兰费尔德霍芬,全职雇员12,168人,是一家半导体设备设计、制造及销售公司。

 

阿斯麦公司为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。

 

目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,例如英特尔,三星,海力士,台积电,联电,格芯及其它半导体厂。随着摩尔定律的发展,芯片走向了7nm以下,这就需要更高级的EUV光刻系统,全球只有ASML的NXE:3400B能够满足需求。

 

ASML的光刻机怎样帮芯片助力?我们可以看一下ASML官方的介绍:

 

简单来说,我们制造的光刻设备是一种投影系统。这个设备由50000个零件组装而成。

 

实际使用过程中,则通过激光束被投穿过一片印着图案的蓝图或光掩模,光学镜片将图案聚焦在有着光感化学涂层的硅晶圆上,当未受曝光的部分被蚀刻掉时,图案随即显现…

 

 

此制程被一再重复,用以在单个芯片上制造数以十亿计的微型结构。晶圆以2纳米的精准度互相叠加,并加速移动,快如闪电,达到这种精确度可谓高科技,要知道,即使头发丝也有十万纳米,2纳米的精细可想而知。

 

 

未来,只有他的EUV光刻机能够帮助芯片接续微缩,因此这些设备纵使卖到上亿欧元,都能被客户所接受。


 

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