Si外延层厚度-EDA365

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掺硼p+-Si外延层厚度的测试方法

发布时间：2021-01-15

0引言Si外延层厚度的测量方法有多种.主要包括称重法.层错法.磨角染色法.解理法和红外干涉法.这些方法各具特点与适用范围.例如.采用红外干射法进行测量时.要求衬底表面对入射光具有足够的反射能力.半导体材 ...<全部>

测试测量应用

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