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二极管泄漏电流以及MOSFET的亚阈区电流的测量

 发布时间：2021-03-02
概述测试半导体器件和晶圆片(Wafer)常常要涉及到测量小电流.其中有些测试工作包括各种泄漏电流的测量.另一些对于晶圆片级半导体的弱电流测量则通常与介电材料(氧化物或化合物)的质量有关 ...<全部>
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