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基于压电MEMS微执行器.的三大主流技术分享

 发布时间：2020-05-14
压电MEMS通过单片即可实现微执行.能量收集.传感和无线通信.是应用潜力巨大的热点技术.压电MEMS微执行器能够精确.自主地执行复杂动作如直线.旋转.加速度.钳动等.以此完成对极微小器件与结构的纳米尺度精确操 ...<全部>
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