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柔性膜式微型电磁驱动器的设计与仿真分析

 发布时间：2020-11-04
0引言 微驱动器作为微机电系统(MEMS)的驱动部件.已得到广泛研究.近年来.采用硬磁和软磁材料构成的驱动器在微机电系统和微光机电系统中受到了越来越多的关注.这主要由于电磁驱动方式能够在较大的范围内提供足 ...<全部>
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