离子束-EDA365

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一文看懂电子束与离子束加工工艺

发布时间：2021-11-17

电子束加工和离子束加工是近年来得到较大发展的新型特种加工.他们在精密微细加工方面.尤其是在微电子学领域中得到较多的应用.通常来说.电子束加工主要用于打孔.焊接等热加工和电子束光刻化学加工.而离子束加工则主要用于离子刻蚀.离子镀膜和离子注入等加工. ...<全部>

电源

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电子束
离子束

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利用不同的安表/电压源测量离子束

发布时间：2020-07-03

离子源用以获得离子束的装置.在各类离子源中.用得最多的是等离子体离子源.即用电场将离子从一团等离子体中引出来.这类离子源的主要参数由等离子体的密度.温度和引出系统的质量决定.属于这类离子源的有:潘宁放 ...<全部>

模拟电路设计

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