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研究团队成功制备高频超灵敏MEMS传感器 刷新世界记录为多种高精度器件奠定工艺基础

 发布时间：2021-11-01
湖南大学机械与运载工程学院微纳制造与微系统技术研究团队制备超高频超灵敏 MEMS 传感器.实现微质量超灵敏探测和 TNT 爆炸物的低浓度检测. ...<全部>
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