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一种新型高量程微加速度传感器侵彻测试

 发布时间：2020-07-02
引言高量程微机械压阻式加速度传感器在冲击测试.军用引信中运用相当广泛.可靠性研究是微电子机械系统 MEMS产业化的关键.对于微加速度传感器更是如此.由于应用环境的特殊性.高量程微加速度传感器必须具有极高的 ...<全部>
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