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典型的MEMS工艺流程的简介

典型的MEMS工艺流程的简介-MEMS表面微机械加工工艺是指所有工艺都是在圆片表面进行的MEMS制造工艺.表面微加工中.采用低压化学气相淀积(LPCVD)这一类方法来获得作为结构单元的薄膜.表面微加工工艺采用若干淀积层来制作结构.然后释放部件.允许它们做横向和纵向的运动.从而形成MEMS执行器.最常见的表面微机械结构材料是LPVCD淀积的多晶硅.多晶硅性能稳定且各向同性.通过仔细控制淀积工艺可以很好的控制薄膜应力.此外.表面微加工工艺与集成电路生产工艺兼容.且集成度较高....

传感器技术

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发布时间：2021-04-12

升级MEMS制造:从概念到批量生产

升级MEMS制造:从概念到批量生产-任何晶圆的刻蚀都涉及边缘不连续性.而且随着晶圆尺寸提升至300mm.这些问题对良率的影响会更为显著....

传感器技术

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发布时间：2021-04-12

基于光声效应的MEMS气体传感器模块解析

基于光声效应的MEMS气体传感器模块解析-光声效应(photoacousticeffect)在19世纪被发现.它可以将光转换成声音.当物质受到周期性强度调制的光照射时.产生声信号的现象....

传感器技术

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发布时间：2021-04-12

MEMS麦克风为中国精密制造产业带来发展机遇

MEMS麦克风为中国精密制造产业带来发展机遇-MEMS产品是指尺寸在毫米级甚至微米级的微型机电装置.主要分为微型传感器(如MEMS麦克风和压力传感器)和微型执行器(如MEMS扬声器)两大类....

传感器技术

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发布时间：2021-04-07

IMT和北京大学微电子学研究院携手加快MEMS技术在中国和美国的发展

美国最大的纯MEMS技术和制造服务提供商IMT公司(Innovative Micro Technology)日前自豪地宣布:公司已与北京大学微电子学研究院签署战略合作伙伴协议.该协议着眼于为两个组织在技术开发和MEMS器件制造等领域内构...

接口

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MEMS
微电子

发布时间：2021-04-02

针对电子设备中基于MEMS显示的三项预测

从汽车到厨房,甚至是更多的场景.装有数百万个闪闪发光的微镜的芯片正在改变我们与新一代消费类电子产品之间的互动. 而这样的转...

接口

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芯片
MEMS

发布时间：2021-04-01

我国传感器行业发展前景

我国未来传感器产业或将遵循以下三个方向: 第一.以工业控制.汽车.通讯.环保为重点服务领域.以传感器.弹性元件.光学元件.专用电...

电源应用

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传感器
MEMS

发布时间：2021-03-23

联华电子与新日本无线拓展双方合作至MEMS麦克风制造

联华电子与新日本无线今(6日)共同宣布.双方已成功实现新日本无线MEMS麦克风产品之量产.新日本无线自有的福冈厂与川越厂产能.现再加上联华电子MEMS产能助力.充沛的产能将可确保在此快速发展的市场环境下.新...

接口

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发布时间：2021-03-22

意法半导体(ST)高能效6轴MEMS传感器模块进一步推动智能手机升级为智能个人助理

横跨多重电子应用领域.全球领先的半导体供应商意法半导体(STMicroelectronics.简称ST;纽约证券交易所代码:STM)推出了高度微型化的新一代6轴MEMS惯性传感器模块.新产品采用超低功耗设计.有助于强化智能手机...

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半导体
MEMS

发布时间：2021-03-17

Bosch Sensortec:专注传感器.加速布局可穿戴设备和物联网应用市场

2016年3月15日至17日.为期3天的亚太区电子元器件.组件和系统顶级专业展会-慕尼黑上海电子展在上海新国际博览中心开幕. 微电子...

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发布时间：2021-03-17

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第26届高交会元宇宙完美收官，数字化参会体验引爆全场

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