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日前，SEMI公布了8项半导体、FPD及MEMS制造行业的新标准。新标准由来自设备与材料供应商、器件制造商以及其他加入SEMI国际标准计划的公司中的技术专家拟定而成. SEMI每年公布三次SEMI Standard，在过去的34年里发布的标准数已超过770项。
SEMI国际标准部门主管Bettina Weiss表示，本次公布的8项标准中包括两项MEMS领域标准，今年春天也公布过三项MEMS标准。随着MEMS行业的发展及技术需求更加明朗化，相关行业标准的制定也日益重要。
8项SEMI Standards包括：
SEMI C62
Guideline forPorogen Precursors Used in Low K CVD Processes（低K CVD工艺用多孔前驱体标准）
SEMI C63
Guideline for Organosilicate Precursors Used in Low K CVD Processes（低K CVD工艺用金属有机前驱体标准）
SEMI E54.20
Standard for Sensor/Actuator Networ
k Communications for Ether AT（EtherCAT传感器／施动器网络通信标准）
SEMI E150
Guide for Equipment Training Best Practices（设备培训最佳方案）
SEMI F104
Particle Test Method Guidelines for Evaluation of Components Used In
Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems（超纯水及液体化学试剂组分评估颗粒检测方法）
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