据悉,台湾旺宏电子(Macronix International)对MEMS代工业务表示了兴趣。该公司已开展了非易失性存储器的设计制造和逻辑LSI的硅代工业务,有可能在硅代工业务中追加MEMS代工服务。
旺宏电子在接受记者采访时表示:“有可能制定MEMS代工业务战略。但详细内容不便公开”。
该公司拥有基于150mm晶圆的Fab1和基于200mm晶圆的Fab2。Fab2制造闪存等存储器产品。生产能力为5万片/月,当订单超过该产能时,有时会利用外部的硅代工。Fab1提供硅代工业务,估计当提供MEMS代工业务时,会利用该工厂。Fab1的生产能力为3万5000片/月。
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