选择铜/PET薄膜

基于以上研究，触摸面板研究所的研究人员认为，要想解决触摸面板大型化造成的透明导电性薄膜课题，在PET薄膜上形成金属网层的方法最合适，于是从 2009年起展开了开发。金属材料采用易采购、成本低、易加工的铜膜。这种方式制作的透明导电性薄膜被命名为“SpiderNet”。

制作网状图案需要缩窄网格的线宽，因此采用了光刻法。另外，考虑到低成本量产性，选择了能用卷对卷方式处理的干膜法。

铜/PET薄膜采用铜膜厚2μm的蒸镀薄膜。由于铜膜呈红色，原以为需要实施黑化处理，但缩小线宽的话就基本看不到了，所以无需在意颜色。使用湿法蚀刻的初期阶段产品，线宽为10μm左右。这个宽度的话，仔细看能看到。缩小铜线宽度后，铜与PET之间的粘着力会下降，容易剥落。因此，在蚀刻后连续涂布了透明保护层。

图5为网状图案示例。传感器部以1～2mm的间距设置了多条细铜线。结合这些细铜线形成一个传感器，与布线电极连接。该传感器以5～6mm 的间距配置。X传感器薄膜与Y传感器薄膜分别设置，利用光学粘合剂（OCA）粘合。制作的触摸面板从正面看有格子状的图案。

图5：采用铜网状图案方式透明导电性薄膜的触摸面板构造

在PET薄膜上绘制X、Y传感器线（a）。利用OCA粘贴X、Y传感器薄膜（b）。

即使细铜线有一根断了，只要剩余的铜线是好的，传感器就能正常工作，所以采用了一个传感器由多条细铜线形成的图案。如果用细铜线网形成 ITO膜常用的棱形图案的话，在棱形间的狭小连接部，连接的铜线数量减少，万一断了，传感器将无法工作。可能会导致成品率降低，因此此次未予采用。

制作的触摸面板的透射率由细铜线的面积占有率决定，可以得出图4所示的透射率与薄膜电阻值的关系。不过，在网状图案中，电阻适合以传感器两端间的电阻表示，不适合用薄膜电阻值讨论。300mm长的传感器两端间的电阻只有约50Ω，非常低。此次的铜网状图案方式与ITO薄膜和银纳米线涂布薄膜等相比，可将电阻值减小一位数以上。

可利用卷对卷工艺 铜网状图案方式的另一个优点是，可解决触摸面板的大型化课题——降低布线电阻。在铜网状图案中，蚀刻铜膜时除了传感器部分外，布线部分也能利用低电阻铜膜形成图案。其线宽/线距可实现10μm/10μm。

图6是利用铜网状图案方式透明导电性薄膜制作触摸面板的工序。这里比较了利用ITO玻璃基板生产玻璃盖板一体型触摸面板的工序，以及利用 ITO、PET薄膜基板和银纳米线膜、PET薄膜基板等生产分立型触摸面板的工序。利用玻璃基板的工序需要三道光刻工序和两道成膜工序。利用ITO、 PET薄膜的工序需要一道光刻工序和一道布线印刷工序。

图6：铜网状图案方式与其他方式触摸面板的制造工序比较

铜网状图案方式的电极安装工序少，能以卷对卷工艺制造，因此可降低制造成本。

而铜网状图案方式只需要一道光刻工序即可形成传感器和布线。而且，该工序的优点是可利用卷对卷工艺形成。