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大国崛起.台积电大赞国产5nm蚀刻机

 发布时间：2020-06-17
根据台积电的工艺路线图.2020年Q3季度就要试产5nm工艺了.这一代工艺会全面应用EUV光刻技术.除了光刻机之外.蚀刻机也是半导体工艺中不可缺少的一步.在这个领域中国半导体装备公司也取得了可喜的进步.中微半导体 ...<全部>
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