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7纳米EUV制程攻坚战打响.台积电3月领先量产

 发布时间：2020-05-27
延续7纳米制程领先优势.台积电支援极紫外光(EUV)微影技术的7纳米加强版(7+)制程将按既定时程于3月底正式量产.而全程采用EUV技术的5纳米制程也将在2019年第2季进入风险试产. 据了解.独家提供EUV设备的ASML.先前 ...<全部>
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