MEMS工艺-EDA365

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浅析Micralyne金属氧化物气体传感材料和MEMS工艺

发布时间：2020-06-18

空气污染已经逐渐成为一个全球问题.无论你是谁.身处何地.健康状况如何.我们每天呼吸的空气无时无刻不在影响我们.尽管我们无法看到它或闻到它.但空气污染却实实在在的对我们的健康产生威胁.空气污染的种类很多 ...<全部>

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MEMS技术的发展历史

发布时间：2020-06-17

MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初.当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器.由于薄硅片振动膜在压力下变形.会影响其表面的压敏电阻走线.这种变化可以把压力转换成电信号.后来的电路则 ...<全部>

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硅MEMS振荡器有望替代石英晶体

发布时间：2020-06-16

石英具有非凡的机械和压电特性, 长期以来一直作为基本的时钟器件,在精确频率源器件中占据主导地位.然而, 石英振荡器也有许多缺点, 包括不能集成到硅圆晶上, 缩小尺寸相应提高了成本, 非工业标准的制造和封装方法, ...<全部>

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市场升温带动新技术发展,MEMS将成晶圆代工新宠儿

发布时间：2020-06-12

近来随着微机电加速度计.微型麦克风等MEMS产品开始应用于消费电子产品中.让MEMS的市场潜力成为业界关注的焦点.过去除了几间大的IDM厂商自行生产MEMS产品之外.单纯MEMS代工业者的规模都还很小.但随着越来越多fab ...<全部>

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基于MEMS工艺的电极型免疫微传感器检测系统设计

发布时间：2020-05-18

近几年.基于电化学原理的安培酶免疫检测发展迅速.在食品工业.环境监测与处理.生物技术及临床诊断等领域都有着广泛的应用.利用抗原抗体之间的特异性亲和作用以及酶的催化放大作用.通过检测与待测物浓度相关的电 ...<全部>

传感器分类

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欧姆龙与IceMos开始量产采用MEMS工艺技术的超结构造MOSFET

发布时间：2024-11-02

新闻事件:欧姆龙开始采用MEMS工艺技术的超结构造MOSFET事件影响:该电极的制造工艺采用了CMOS工艺欧姆龙与IceMos计划今后进一步扩充产品阵容美国IceMos Technology与欧姆龙开始量产采用MEMS工艺技术的超结(Super-J ...<全部>

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