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未来技术-纳米机电系统(NEMS)

发布时间：2020-06-17

什么是纳米机电系统?纳米机电系统(NEMS)有几个维度纳米级...通过使用纳米效应.这些系统显示出有趣和特殊的特性.与微机电系统(海洋环境管理系统).这些机器的显着特性基本上起源于活动段的行为.即悬臂梁或双夹紧 ...<全部>

技术百科

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MEMS/NEMS结构基于模板的广度相位解包裹方法

发布时间：2020-05-15

在对微/纳机电系统(micro/nano electro me-chanical system. MEMS/NEMS)结构的特性参数进行测量和MEMS/NEMS可靠性进行测试的过程中.常要求对结构表面的三维轮廓.粗糙度.微小的位移和变形等物理量做精密测量［1 ...<全部>

传感器分类

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MEMS
nems

177

MEMS与IC集成工艺介绍 NEMS器件在IC 中的应用

发布时间：2020-05-15

现在微机电系统已经远远超越了[机"和[电"的概念, 将处理热.光.磁.化学.生物等结构和器件通过微电子工艺及其他一些微加工工艺制造在芯片上, 并通过与电路的集成甚至相互间的集成来构筑复杂微型系统.1 引言在过去 ...<全部>

传感器分类

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138

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一颗引发行业变革的红外芯片

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