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运用互补性显微术在尺度上三维重构并分析同一个纳米级样品

 发布时间：2021-06-28
运用两种不同的纳米尺度或原子尺度测量分析方法分析同一个样品.对完全掌握一种材料或产品的属性至关重要.这种优势互补的分析方法特别适用于测定MOSFET.FINFET等新一代纳米级晶体管的掺杂分布情况.本文综合电子断 ...<全部>
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