击穿特性-EDA365

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PECVD法低温形成纳米级薄介质膜击穿特性的实验研究

发布时间：2022-03-28

陈蒲生1.刘剑2.张昊3.冯文修1(1.华南大学应用物理系.广东广州 510640,2．广东省邮电科学研究院.广东广州 510665;3.中国电子科技集团公司第五研究所.广东广州 510610)摘要:对等离子体增强化学汽相淀积(pec ...<全部>

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发布时间：2020-06-29

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