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半导体清洗领域:国产设备商进展积极

 发布时间：2020-05-16
清洗设备是贯穿半导体产业链的重要环节.用于清洗原材料及每个步骤中半成品上可能存在的杂质.避免杂质影响成品质量和下游产品性能.在单晶硅片制造.光刻.刻蚀.沉积等关键制程及封装工艺中均为必要环节.常用清洗 ...<全部>
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