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单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统

 发布时间：2020-05-27
电容式传感器工作原理电容式传感器分单电容式和差分电容式二种.如图1所示.图1 单电容式和差分电容式传感器(a) 单电容传感器(b) 差分电容传感器图1(a)为两平行板组成的电容器.图1(b)为两平行板中间插入极板组成的 ...<全部>
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