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每台价值1.5亿美元的ASML EUV设备生产不顺.都是卡尔蔡司镜头的[锅"?

 发布时间：2020-06-24
有国外媒体指出.艾司摩尔 EUV 设备生产不顺的主因.就是来自光学镜头供应商蔡司(Carl Zeiss)供货进度跟不上需求所致.目前半导体工艺已微缩到 10 纳米以下.大家都寄望借由极紫外光微影设备(EUV)协助工艺向前发 ...<全部>
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