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MEMS压力传感器综合性能分析

 发布时间：2020-05-23
MEMS压力传感器是基于 MEMS(微机电)技术.建立在微米/纳米基础上.在单晶硅片上刻融制作惠斯登电桥组成的硅应变计.这样制造的压力传感器具有输出灵敏度高.性能稳定.批量可靠性.重复性好等优点.下面从传感器的 ...<全部>
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