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分析MEMS压力传感器的原理设计与应用

 发布时间：2020-06-03
MEMS主要包括微型机构.微型传感器.微型执行器和相应的处理电路等几部分.它是在融合多种微细加工技术.并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科.MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和 ...<全部>
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