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MEMS国内外发展状况及我国MEMS发展战略的思考

 发布时间：2020-06-17
摘要:针对国际MEMS发展趋势和未来的产业化前景.结合我国社会经济发展的需要和国家竞争前的核心技术发展战略.国家科技部拟将MEMS确定为[十五"863计划重大专项.针对这一形势.在前期MEMS发展战略研究的基础上.介 ...<全部>
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