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动态电子束探针检测技术在亚微米和深亚微米IC失效

 发布时间：2022-03-29
王 勇.李兴鸿(北京微电子技术研究所, 北京 100076)摘要:对扫描电子显微镜静态／动态／电容耦合电压衬度像.电子束感生电流像.电阻衬度像在亚微米和深亚微米超大规模集成电路中的成像方法和成像特点进行了研究. ...<全部>
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