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高精度激光直写数字伺服滤波器的设计

 发布时间：2020-06-01
激光直写技术是一种近年来应用广泛的超精密加工技术.该技术是一种利用强度可变的激光束.在基片表面实施有规则的高精度扫描.在扫描过程中.光刻基片随载物平台而运动.因此影响光刻元件的质量取决于载物平台的定位 ...<全部>
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