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盛美半导体设备(上海)有限公司发布无应力抛光集成(SFP)设备

 发布时间：2020-07-01
中国上海2011年10月26日--盛美半导体设备(上海)有限公司.今天推出最新的半导体制造设备--无应力抛光集成设备(the Ultra SFP).该设备能够对65nm及以下的铜互联结构进行无应力.无损伤抛光.该设备整合了无应力 ...<全部>
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