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EV集团推出全新掩模对准光刻技术突破速度和精度极限

 发布时间：2020-05-27
微机电系统(MEMS).纳米技术以及半导体市场晶圆键合和光刻设备领先供应商EV集团(EVG)今日宣布推出IQ Aligner NT.旨针对大容量先进封装应用推出的全新自动掩模对准系统.IQ Aligner NT光刻机配备了高强度和高均 ...<全部>
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