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MEMS机油压力传感器可靠性研究

 发布时间：2020-06-03
引言MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新技术.用MEMS技术研制的压力传感器具有体积小.重量轻.响应快.灵敏度高.易于批量生产.成本低的优势.它们已经开始逐步取代基于传 ...<全部>
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