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光机所承担重大专项极紫外光刻关键技术研究通过验收

发布时间：2020-05-27

[极大规模集成电路制造装备及成套工艺"国家科技重大专项(02专项)实施管理办公室组织专家在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所召开了[极紫外光刻关键技术研究"项目验收会.评审专家组充分肯定了项目取得的一系列 ...<全部>

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