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供应商将氧化物释放技术添加到汽相MEMS

 发布时间：2020-05-16
2009年3月.微机电系统(MEMS)产业蚀刻和沉积设备供应商Point 35 Microstructures公司.今日在上海宣布推出汽相氧化物释放蚀刻模块.进一步扩展其微机电系统(MEMS) 单晶圆制造memsstar®产品系列.这项新增的技术将 ...<全部>
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