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国内首个硅光子工艺平台流片周期比国外快1倍

 发布时间：2020-06-04
据上海市政府网站报道.昨天.中科院上海微系统所主办的[光电子新微技术论坛"传出消息.上海去年推动布局的硅光子市级重大专项有了新进展.国内首个硅光子工艺平台已经可以提供综合集成技术的流片服务.目前流片器件 ...<全部>
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