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MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制

 发布时间：2020-06-01
1 引言 大气压力传感器在工业生产.气象预报.气候分析.环境监测.航空航天等方面发挥着不可替代的作用.传统的压力传感器一般为机械式.体积比较大.不利于微型化和集成化.利用MEMS技术不仅可以解决上述缺点.还 ...<全部>
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