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先进制程挑战大.KLA-Tencor:控制要从源头出发

 发布时间：2020-05-27
台积电.三星与英特尔的先进制程赛打得火热.尽管纷纷表示已抢进下个制程节点.但都在10nm工艺良品率不理想的难题与痛苦中挣扎过.先进制程的推进.带来工艺难度与制造成本增加的同时.良率问题也成为一大挑战.任何 ...<全部>
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