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爱发科销售用于显示及半导体CVD 蚀刻等设备的耐腐蚀处理技术

 发布时间：2022-05-31
CINNO Research产业资讯.爱发科(ULVAC)科技株式会社开始销售一项名为[VACAL-Z"的耐腐蚀性处理技术.主要应用于CVD.蚀刻设备(半导体.平面显示屏.电子零部件等工艺中使用的设备)等使用腐蚀性气体的真空设备的内部零部件.此项新技术解决了传统耐腐蚀处理技术的问题点.有助于提高制造工艺中产品的性能和良率. ...<全部>
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