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克服稀土慌 东电电子开发成功钌回收技术

 发布时间：2020-06-08
东电电子(TEL)与田中贵金属工业宣布.两公司共同开发的钌(Ru)回收技术已成功确立.该技术可在使用CVD装置形成作为铜(Cu)布线的下层膜(Liner膜)的Ru膜时.对CVD用Ru材料(钌前驱体)中未用于成膜而废弃的Ru进 ...<全部>
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