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利用带隙电压参考电路进行铜应力测量的新方法

 发布时间：2024-11-05
1 前言铜金属化在高功率汽车应用领域的优势是具备通态低电阻.并且具有可重复箝位鲁棒性.然而.从可靠性角度而言.来自厚Cu层的应力是主要关注的问题.传统应力监控方法是进行线内晶圆弯曲度测量.这种测量方法的缺 ...<全部>
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