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单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计

 发布时间：2020-05-29
1 引 言 单片集成是MEMS传感器发展的一个趋势.将传感器结构和接口电路集成在一块芯片上.使它具备标准IC工艺批量制造.适合大规模生产的优势.在降低了生产成本的同时还减少了互连线尺寸.抑制了寄生效应.提 ...<全部>
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