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TSMC大手笔扩产,12寸超大型晶圆厂动工

发布时间:2020-05-16 发布时间:
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  台积电(TSMC)日前在台中科学园区举行第三座12寸超大型晶圆厂(GIGAFAB)──晶圆15厂动土典礼。晶圆15厂是台积电第二座具备28纳米制程能力的超大型十二寸晶圆厂,基地面积18.4公顷,总建筑面积430,000 平方公尺,预计规划晶圆厂两栋、办公室一栋,总洁净室面积为104,000平方公尺(约14座足球场大)。

  晶圆15厂是台积电第三座每个月超过十万片十二寸晶圆的超大型十二寸晶圆厂,未来几年内的总投资金额将超过新台币3,000亿元。其中第一期厂房预计于明(2011)年六月开始装机,并于后年(2012)第一季开始量产,为客户生产40纳米及28纳米的产品。之后将继续随着台积电先进技术的发展,导入更先进世代的制程。

  台积电董事长兼总执行长张忠谋表示,未来随着晶圆15厂产能陆续开出,将可望创造8000个优质的工作机会。

  为了积极响应客户对产能的高度需求,在晶圆15厂动土兴建的同时,台积电不断进行位于竹科晶圆12厂以及南科晶圆14厂的产能扩充。目前晶圆12厂与晶圆14厂两座十二寸超大型晶圆厂的单月产出量,合计已经超过二十万片十二寸晶圆,预计今年底这两座厂房的单月建置产能更将扩充至二十四万片十二寸晶圆的规模。

  此外,为落实节能减碳、永续经营的目标,晶圆15厂也将是台积电继晶圆12厂及晶圆14厂之后又一座绿色厂房,在设计时即采用多项污染防治设施与绿色节能的概念,包括85%制程水回收率、雨水回收再利用、一般热排气(General Exhaust)循环再利用、同时发展太阳能发电与LED照明的应用技术,期望能达到温室效应气体零排放的目标。



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