半导体制造设备是整个产业的基石，贯穿设计、硅片制造、晶圆制造及封装测试等环节，尤其晶圆制造环节所用设备分量最大。当前，在晶圆制造中刻蚀机、光刻机和薄膜沉积设备为三大主设备，另有氧化扩散热处理设备、清洗设备、离子注入机、研磨抛光机和工艺检测等重要设备。在硅片生产中涉及到单晶炉、滚磨机、切片机、倒角机、研磨设备、抛光设备、清洗设备、检测设备等。在封装测试中涉及划片、装片、键合、塑封、电镀、切筋成型、探针台、分选机、测试机等设备。在设计环节也涉及部分测试设备。典型的集成电路制造涉及数百道工序，其中主要是扩散、薄膜沉积、光刻、刻蚀、离子注入、抛光、及金属化等工艺，根据需要进行必要工序的若干次循环。2018 年全球半导体设备市场规模约 645 亿美元，几乎被美日欧企业垄断，其中荷兰的ASML垄断高端光刻机，美国的 LAM、AMAT 和日本的 TEL 是三家最主要的刻蚀和薄膜沉积设备生产商。本土企业需要长期的坚持和努力。

光刻机霸主 ASML 和三剑客

荷兰ASML(阿斯麦尔，ASMLHolding N.V，Advanced Semiconductor Material Lithography）是近年业界最风光的企业，是高端光刻机（Mask Aligner System 或 Lithography Machine)的霸主。它 1984 年从飞利浦独立出来，历经数十年努力，从生存困难到超越传统霸主尼康（Nikon）和佳能（Canon），如今其 EUVL（极紫外光刻机，Extreme ultraviolet lithography）垄断全球市场。2019 年 ASML 净销售额为 118 亿欧元，大部分销售收入来自东亚的韩国、中国台湾和中国大陆。

ASML 专注于光刻机的研发和制造，旗下有 TWINSCAN 系列、YieldStar 系列、PAS550 系列产品，其中 TWINSCAN 系列是当今精度和效率最高、应用最广的高端光刻机，ASML 凭借 EUV 技术占据了约 80%的市场份额，将老对手 Nikon、Canon 远远甩在身后，不过 20 年前 Nikon 和 Canon 分别有 41.6%和 34.8%的市场份额，ASML 仅占 22.4%。转折始于十几年前，业内进行了一次革命性技术的尝试，ASML 呼应 TSMC 的林本坚进行浸润式微影技术验证，冲破了重重阻碍，一跃成为行业的主流，而 Nikon、Canon 投入巨资研发的干式微影技术则失去了大部分市场。彼时对 Nikon、Canon 更为不利的是，英特尔和美国能源部汇聚全球研究资源，包括劳伦斯伯克利实验室、摩托罗拉、AMD 等企业成立 EUV 光刻技术研发联盟，ASML 有幸加入并分享了技术成果，Nikon、Canon 被拒之门外。

日本教授中马宏之评价 ASML 的“成功之道”是通过高度外包的开放式创新，快速“集成”各领域最先进的技术（供应商除了提供零部件，还提供知识），设计和“组装”出最先进的机器系统，快速甩开对手，赢得市场。据说 ASML 的设备中 90%的零件是外包，除控制系统自做之外，其余的有来自德国的光学设备和超精密机械、美国的计量设备和光源设备等等，外包程度之高有点不可思议，但在现阶段恰好是其竞争力的源泉之一。光刻机需要最前沿的基础研究，是顶尖的精密机械之一，属于典型的烧钱、烧脑、烧时间型产品，作为后来者，要赶超 Nikon、Canon 等业内大佬，ASML 选择与外部资源合作的开放式路径，比单一的垂直整合模式效率高、风险小。其开放式创新体现在整个供应链，把供应商（包括大学、研究机构等）作为研发伙伴，让渡部分利润（合作方以折扣价获得产品）以换取对方的知识；重大项目投资则邀请客户参与，出让股权捆绑风险和收益，2012 年 Intel、TSMC 和 Samsung 等巨头出巨资入股，以获得最新设备的优先购买权并获得投资受益，而 ASML 则稳定了市场，降低了经营风险。

除自带开放基因并广泛组建供应链联盟之外，ASML 还是个并购高手，1995 年上市募集资金后除增加研发投入外，也加速主业相关的并购。1999 年并购 MaskTools，改善扫描和成像能力；2001 年并购 Silicon Valley Group，增强投影掩罩瞄准等技术；2007 年收购睿初(Brion)，增强光刻缺陷检测及修正能力；2013 年并购 Cymer，获得极紫外光源技术；2016 年收购台湾的电子束测量工具制造商汉微科（HMI）；2017 年收购了卡尔蔡司的部分股权，巩固 EUV 系统技术；2019 年收购了 Mapper 的 IP 资产。如今，ASML 在强者愈强的道路上颇有几分孤独求败的味道，并购策略与联盟策略共同促进了研发成本和市场风险的降低，并加速了新技术的集成和应用。从成立初期积极寻求政府资金支持以及同科研单位合作，到上市后不断进行加强主业的并购，构建供应链与市场联盟则将自身、供应商与客户紧密捆绑在一起，坚持聚焦主业，坚持以客户和市场为导向，并注重基础研究、可行性研究和集成能力……ASML 过往的成功经验有值得借鉴的地方，但这或许并不适合所有的企业，即便是 ASML，也会不断面临新的挑战。

据说几年前 Intel、IBM、三星等半导体巨头特意扶持，在硅谷成立了一家光刻机厂商 XTAL，以避免 ASML 一家独大，但 2018 年 ASML 起诉 XTAL 侵占知识产权，最终 ASML 胜诉并在 2019 年获得了 8.45 亿美金赔偿，XTAL 破产。未来的技术、市场和国际局势是否还会再起波澜，老对手是否还会卷土重来？看不见的硝烟或许正在弥漫。成立于 1917 年的 Nikon，2019 年半导体设备销售额达 12 亿美元。成立于 1937 年的 Canon，2019 年半导体设备销售额 6.9 亿美元。作为光刻机的前任霸主，两家公司的相机、镜头和光学技术根基深厚。

值得一提的是，半导体设备领域的名企除了 ASML，还有 ASMI 和 ASMPT，光看名字就晕菜，这三位的渊源可深着呢。ASMI（ASM International，先域）于 1964 年成立于荷兰，业务包括光刻、沉积、离子注入和单晶圆外延，1971 年开始生产气相沉积炉，1999 年收购了芬兰公司 Microchemistry，2004 年收购了韩国公司 Genitech，加强了在原子层沉积（ALD）领域的地位, 推动了 ALD 和 PEALD（等离子增强原子层沉积）的规模化应用，2019 年销售额为 12.6 亿美元，业内排名第十。ASMPT（ASM Pacific Technology）成立于 1975 年，总部在新加坡，提供封装与测试设备及 SMT（Surface Mount Technology，表面贴装技术）方案，2019 年销售额为 8.9 亿美元，业内排第 14 位。ASMI 持有 ASMPT 股份。

AMAT 和 LAM 等美系名企

与鼎鼎大名的 ASML 相比，半导体设备界的头号霸主 AMAT（Applied Materials，应用材料）就显得“低调”多了，它长期保持着业界领导地位,提供半导体、显示器和太阳能等制造设备、软件和服务。2019 年 AMAT 销售额为 134.7 亿美元，紧随其后的 ASML 销售额为 127.7 亿美元。成立于 1967 年的 AMAT 是个全能型选手，在半导体领域发力早，经历了技术工艺的完整周期，业务范围几乎覆盖了除光刻机外的所有关键设备，加之长期对研发和创新的投入，其 PVD、CVD、刻蚀设备、离子注入机、高温炉、CMP 设备等均在业界名列前茅，并在材料工程领域积累了技术底蕴，子公司 AKT 是等离子体化学气相沉积设备的领头羊。AMAT 在许多关键设备上突破了技术难题，在业内属于以创新驱动发展的企业。

AMAT 也很注重围绕主业的并购，1996 并购 Opal Technologies 和 Orbot Instruments，进军 IC 监测与控制设备；1998 年并购 Consilium 获得 MES 系统；2000 年并购 Etec Systems 获得光罩生产和薄膜晶体管阵列测试；2001 年并购 Oramir Semiconductor 获得半导体镜片清洗技术；2008 年并购 Baccini 开拓意大利市场；2009 年并购 Semitool 获得晶圆级封装技术；2011 年并购 Varian Semiconductor 获得离子注入系统……除了为客户供应设备，AMAT 还特别重视服务类收入，如提供集成解决方案、专业顾问以及工厂自动化软件等，从起始阶段的流程设计到过程中解决客户的高价值问题，能提供差异化的设备性能和量产解决方案。这在提升客户粘性和满意度的同时，也增强了行业低迷时的抗风险能力。

AMAT 通过“技术研发+外延收购”、“销售设备+绑定服务”等多种组合来打造竞争力，并有完善的资本市场融资机制保证流动性充裕，此外还积极与大学、科研院所等机构合作进行技术研发和人才培养。作为第一家进入内地的外资半导体设备与材料工程解决方案的领先企业，从 1984 年开始，先后在北京、上海、天津、苏州、无锡和西安等地设立业务机构，内地已成为 AMAT 第三大营收来源。AMAT 还多次获评优良雇主和商业道德企业。

除了 AMAT，业内美系名企还有 LAM、KLA-Tencor 和 Teradyne 等。成立于 1980 年的 LAM（Lam Research，泛林、拉姆或科林)以刻蚀机、薄膜沉积和清洗等设备在业内闻名，1990 年进入内地市场，2019 年 LAM 的销售额与排名第三的东京电子很接近。LAM 是硅技术路线图的根本推动者，专注于蚀刻、沉积和清洁市场，受益近年 3D NAND 不断增加的层数、及晶圆代工厂向 7 纳米工艺的过渡，LAM 在蚀刻和沉积领域的市场份额不断增长。KLA-Tencor(科天、科磊)于 1997 年由 KLA 和 Tencor